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精密设备PECVD的作业方式

作者:江苏启利 来源: 日期:2020-4-23 11:32:15 人气:4



PECVD俗称气相沉积机,系利用强电场或磁场使所需的气体源分子电离产生等离子体,等离子体中含有很多活性很高的化学基团,这些基团经过经一系列化学和等离子体反应,在太阳能电池及硅晶片的表面镀一层SiN薄膜,这层薄膜可以减少太阳光的反射率,增加光电转换效率。


PECVD主要应用于非晶硅太阳能薄膜电池生产。2019年7月,江苏启利承接了某著-名太阳能生产企业PEVCD设备的搬运和包装项目,作业内容包括PECVD设备的无尘室移位、出口包装以及装箱固定。项目的难点在于解决以下几个问题:(1)如何保护无尘室内的洁净度和地面;(2)在保护设备在移出无尘室至包装前,采取何种措施保证不受污染;(3)针对设备在搬运过程中需防震、防倾斜等要求,选择怎么样的包装材料和工艺。





为此,我们设计了以下安全可靠的作业方案:

1)作业人员在无尘室外穿好无尘衣、无尘鞋、无尘手套、口罩。在缓冲区先铺一层静电膜,然后在静电膜上铺好钢板,铺设前需要用酒精将钢板擦拭干净。所有进入无尘室的采用不锈钢液压车,叉车的叉齿亦用拉伸膜包裹好。

(2)在无尘车间和包装作业之间的衔接场地,所有不锈钢板铺垫。

(3)在无尘室内所有拉伸膜对设备进行全面的包裹,然后再用液压车移出无尘室。

(4)在设备包装时,应对设备的每一个活动部位进行固定和支撑,保证设备在搬运的过程中活动部位不会因为滑动、碰撞而造成损坏。

(5)在设备与绑带、木方的接触部位,采用减震棉进行防护。设备固定完成后,再采用真空-包装形式对设备进行保护;封箱后,再覆盖一层油性防雨布进行二次防雨处理。





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